À l'intérieur du laboratoire de semi-conducteurs de 300 milliards de VND à Hô Chi Minh-Ville

Le laboratoire de semi-conducteurs du Centre de recherche et de mise en œuvre du Parc de haute technologie d'Hô Chi Minh-Ville (SHTP-Labs) a une superficie totale de plus de 600 m2, divisée en quatre zones principales dont : Zone de manipulation chimique, zone de photolithographie, zone de fabrication. zone et zone d’analyse. Ces zones répondent aux normes des salles blanches de classe 10 000, 1 000 et 100. Ce paramètre correspond au nombre de particules de poussière autorisées par pied cube. La taille des particules de poussière requise est inférieure à 5 micromètres, ce qui convient à la recherche et à la fabrication de puces de taille micrométrique. La température dans la salle blanche est maintenue entre 20 et 22 degrés Celsius.

La salle blanche est reliée à la salle auxiliaire par de gros tuyaux. Cette zone dispose de systèmes de traitement de l'eau utilisant la méthode de déionisation, ce qui signifie que l'eau ne contient plus de molécules conductrices d'électricité. La salle auxiliaire dispose également de systèmes de filtration des poussières et de séchage de l’air. L’air étant humide, cela affectera le fonctionnement des machines dans la salle blanche. De plus, cette zone dispose de compresseurs de grande capacité pour fournir de l'air comprimé et du vide au laboratoire.

Dans le processus de fabrication des puces de capteur, les chercheurs utilisent des plaquettes blanches (plaquettes semi-conductrices de silicium), qui n'ont pas de structure de surface conçue.