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La machine de lithographie EUV High-NA d’ASML réalise une avancée majeure
MSN -
18/04
IT House a rapporté le 18 avril que la société néerlandaise ASML avait annoncé que sa première machine de lithographie à haute ouverture numérique (High-NA) dans l'extrême ultraviolet (EUV) utilisant un système optique de projection à ouverture numérique (NA) de 0,55 avait été réussie. Ce lot de motifs marque une étape majeure pour ASML et pour l’ensemble du domaine de la technologie de lithographie EUV à haute ouverture numérique. ASML a déclaré dans un communiqué : « Notre système EUV à haute ouverture numérique à Eindhoven...
IT House a rapporté le 18 avril que la société néerlandaise ASML avait annoncé que sa première machine de lithographie à haute ouverture numérique (High-NA) dans l'extrême ultraviolet (EUV) utilisant un système optique de projection à ouverture numérique (NA) de 0,55 avait été réussie. Ce lot de motifs marque une étape majeure pour ASML et pour l’ensemble du domaine de la technologie de lithographie EUV à haute ouverture numérique.
ASML a déclaré dans un communiqué : « Notre sy... [Courte citation de 8% de l'article original]
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